S-4800型高分辨场发射扫描电镜（简称S-4800）为日本日立公司于2002年推出的产品。该电镜的电子发射源为冷场，物镜为半浸没式。在高加速电压（15 kV）下，S-4800的二次电子图像分辨率为1 nm，这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压（1 kV）下的二次电子图像分辨率为2 nm，这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪。利用S-4800和X射线能谱仪可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区成分定性和定量以及元素分布分析。此次所购X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92，从而可以分析轻元素。由于S-4800不能在低真空条件下工作，因此不适合直接观察含水和含油样品。

性能指标：

1.二次电子分辨率：1.4nm（1kV，减速模式），1.0nm（15kV）；

2.电子枪：冷场发射电子源；

3.加速电压：0.5-30kV；

4.放大倍率：20-80万倍。

主要特点：

1.景深大，图像呈三维立体效果，能够提供比其他显微镜更多的有价值的信息；

2.能直接观察大样品的原始表面，样品制作简单；

3.利用X射线能谱仪可在对样品进行形貌观察的同时，对观察到的某区域或某点进行成分分析。

主要功能：

1.二次电子形貌（SEI）：对试样进行表面形貌观察分析；

2.背反射成分像/形貌像（BEI）：对试样进行更深一层的形貌观察，并得到原子序数衬度；

3.元素的定性定量分析（EDX）：结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和定量分析；

4.图像分析处理系统（IPS）：根据所得图像，对试样进行粒度、孔径大小、气孔分布等进行分析。

扫描电镜已广泛应用于材料科学、冶金、地质勘探，机械制造、生产工艺控制、产品质量控制、灾害分析鉴定、宝石鉴定、医学、生物学等科研和工程领域，具体情况如下：

1.金属、非金属及复合材料、生物样品表面形貌、组织结构的观察分析及照相。

2.纳米材料：纳米粉及纳米粉体的形貌观察和粒度测量统计。

3.微区成分的定性、定量计算，并对重点区域做元素分布图。

4.颗粒样品粒径、面积、周长、圆度的测量，提供粒度分布图，并可对孔径样品做孔径分布直方图。

5.可对固体材料的表面涂层、镀层进行结合情况观察和厚度测量。

6.机械设备、压力容器、管道及汽车零件的失效分析。

7.金属、非金属、复合材料、生物样品等固体材料的显微分析。